等离子清洗机保养

     1、检查电源连接

　　电压是否与设备匹配

    （设备的电压为220V）。

      2、检查输气管道的完整性及真空密封性

　　定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。

  　定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

　　检查各管路是否连接紧固，老化等问题。

       3、清洗反应腔室

　　首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。

　　其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。

       4、定期检查真空泵油

　　每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪        音异常，则及时更换真空油。