产生于20世纪初的等离子清洗技术，随着高新技术产业的迅速发展，其应用范围日益广泛，目前已在众多高新技术领域中，占据了关键技术的地位。plasma等离子清洗机技术对工业经济和人类文明的影响挺大的，率先推动了电子信息行业，特别是半导体和光电行业的发展。由于等离子清洗机在越来越多的行业中得到了越来越多的应用，如何选择合适的等离子清洗机就成了人们关心的问题，今天我们来谈谈如何选择plasma真空等离子清洗机。

 在plasma真空等离子清洗机的选择上，我们主要从以下几个方面考虑。

先由腔体尺寸确定等离子清洗机的型号，腔体尺寸主要从以下两方面考虑。

 一、工件尺寸：

一般而言，真空等离子清洗机的分类主要是根据空腔尺寸和空腔材料来划分的，选择空腔尺寸时首先要考虑的是工件尺寸，也就是说，至少要能够将工件放下去，如果工件连放都放不下去，再考虑其他因素也没有多大意义。

二、生产能力：

对于产能要求较高的产品，一定要根据产能选择空腔尺寸，空腔尺寸越大，一次加工的产品越多，如果产能要求不高，则优先考虑工件尺寸。当工件可以放下时，我们可以根据其生产能力计算出合适的空腔尺寸。

 我们要考虑的第二个问题，是选择什么频率的等离子清洗机。

 频率选择：

现在通常使用的频率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏压为1000V左右，13.56MHz自偏压为250V左右，20MHz的自偏压则更低，这三种激发频率的机制不同，40kHz发生的反应为物理反应，13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应，20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应。

空腔材质选择： 现在常用的腔材料有以下几种：石英腔、不锈钢腔、铝合金腔，这三种腔各有优点，石英腔温度较低，而且不容易发生反应。铝型材的优点：一、铝型材密度低，强度高，优于钢，具有较好的机械加工性能。铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。材料对化学反应的兼容性较好，不易产生金属污染，不会产生污染等。

 真空泵选择：到底是选用国产的，还是进口的，是干泵还是油泵，是单级泵，还是双极泵，每种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要而定，在此不再赘述。 气路选择：

 一般真空等离子清洗机都是两路气路，但这不能满足所有的处理要求，如果需要更多的反应气，则气道要适当增加，这也是根据用户的实际需要，选择多路气路。