等离子清洗机工作时使用的气体有什么
发表时间： 2024-04-17 15:35:50
作者： pg电子平台
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等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体：1、惰性气体：如氦气、氮气、氩气等，作为等离子清洗机的主要工作介质，可以提供足够的能量和密度，产生等离子体。2、活性气体
等离子清洗机工作时通常使用以下几种气体：
4、氯氟化合物：如C2F6、C3F8等，通常用于等离子体刻蚀和清洗硅片、玻璃等材料表面。
不同的等离子清洗机适用于不同的气体，需要根据实际需要进行选择。在选择等离子清洗机时，需要考虑材料表面的清洗要求、清洗剂的种类、清洗时间等因素，以选择最适合的等离子清洗机和气体。同时，需要注意气体的纯度和质量，以保证等离子清洗的效果和安全性。
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